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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:Auto SE - 自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具國內(nèi)總代

    • 產(chǎn)品型號(hào): Auto SE
    • 產(chǎn)品廠商:HORIBA堀場
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    Auto SE - 自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具國內(nèi)總代Auto SE是一種新型薄膜測(cè)量工具。僅需簡單的幾個(gè)按鈕,幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析,并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告,包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。
    詳情介紹:

    Auto SE - 自動(dòng)化薄膜測(cè)量工具國內(nèi)總代



    • 光譜范圍:440-1000nm
    • 光斑尺寸:7個(gè)尺寸微光斑全自動(dòng)切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm
    • 探測(cè)系統(tǒng):CCD,分辨率2nm
    • 樣品臺(tái):真空吸盤,Z軸行程40mm
    • 光斑可視系統(tǒng):CCD攝像機(jī)-視野1.33x1 mm-分辨率10μm
    • 量角器:固定角70°,也可選擇66°或61.5°
    • 多種附件可選
    • 測(cè)試時(shí)間:<2s,常規(guī)為5s
    • 準(zhǔn)確性:NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002
    • 重復(fù)性:NIST 15nm ± 0.2 ?

    Auto SE是一種新型薄膜測(cè)量工具。僅需簡單的幾個(gè)按鈕,幾秒鐘內(nèi)即可自動(dòng)完成樣品測(cè)量和分析,并提供完整的薄膜特性分析報(bào)告,包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。

    Auto SE全自動(dòng)化設(shè)計(jì)、一鍵式操作,功能齊全。配備自動(dòng)XYZ樣品臺(tái)進(jìn)行成像分析,自動(dòng)切換微光斑,多種附件可選,以滿足不同的應(yīng)用需求。

    Auto SE借助完整的操作向?qū)В?span style="box-sizing:border-box;font-weight:bolder;">自動(dòng)檢測(cè)并診斷問題,對(duì)故障進(jìn)行處理,儀器維護(hù)簡單

    Auto SE是用于快速薄膜測(cè)量和器件質(zhì)量控制理想的解決方案。

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