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產品詳情
簡單介紹：
浙江區(qū)域供應HORIBA崛場半導體熱式氣體分流器FS-3000FS-3000 結合了 HORIBA STEC 質量流量控制器（MFC）和 MuCube（主控制器）的功能。通過配備 HORIBA STEC 專有控制算法的 MuCube 控制 MFC，F(xiàn)S-3000 實現(xiàn)了穩(wěn)定的分流控制。
詳情介紹：
浙江區(qū)域供應HORIBA崛場半導體熱式氣體分流器FS-3000 國內各區(qū)域銷售
控制算法通過控制流量比實現(xiàn)穩(wěn)定的分流控制，同時利用 HORIBA STEC 控制優(yōu)化技術控制 FS-3000 上流壓力。此外，即使分流比改變，控制算法也能實現(xiàn)對分流的高速響應。
- 提高可擴展性、維護性能。FS-3000 可通過高速信號處理分離多達 15 個通道。若 MFC 出現(xiàn)故障，僅需更換故障從機即可。
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靈活響應所需規(guī)格 FS-3000 支持混合氣體在內的多種氣體。此外，F(xiàn)S-3000 還支持 RS-485、DeviceNet 等用戶接口。
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