熱門搜索：
代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設備等）、USHIO牛尾點光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機、NEWKON新光、TOKISANGYO東機產業(yè)、tokyokeiso東京計裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
產品中心
-
CEDAR思達
-
Stucchi思多奇
-
NITTO KOHKI日...
-
Sankei
-
KYOWA協和工業(yè)
- DIT東日技研
- AITEC艾泰克
-
SIGMAKOKI西格瑪...
- REVOX萊寶克斯
- CCS 希希愛視
- SIMCO思美高
- POLARI0N普拉瑞
- HOKUYO北陽電機
- SSD西西蒂
- EMIC 愛美克
- TOFCO東富科
-
打印機
- HORIBA崛場
- OTSUKA大冢電子
- MITAKA三鷹
- EYE巖崎
- KOSAKA小坂
-
SAGADEN嵯峨電機
- TOKYO KEISO東...
- takikawa 日本瀧...
- Yamato雅馬拓
- sanko三高
- SEN特殊光源
-
SENSEZ 靜雄傳感器
- marktec碼科泰克
- KYOWA共和
- FUJICON富士
- SANKO山高
-
Sugiyama杉山電機
-
Osakavacuum大...
-
YAMARI 山里三洋
- ACE大流量計
- KEM京都電子
- imao今尾
- AND艾安得
- EYELA東京理化
- ANRITSU安立計器
- JIKCO 吉高
- NiKon 尼康
- DNK科研
- Nordson諾信
- PISCO匹斯克
- NS精密科學
- NDK 日本電色
-
山里YAMARI
- SND日新
-
Otsuka大塚電子
- kotohira琴平工業(yè)
- YAMABISHI山菱
- OMRON歐姆龍
- SAKURAI櫻井
- UNILAM優(yōu)尼光
- ONO SOKKI小野測...
-
U-Technology...
- ITON伊藤
- chuhatsu中央發(fā)明...
- TOADKK東亞
- HOYA豪雅
- COSMOS日本新宇宙
-
UENO上野精機
- DSK電通產業(yè)
-
POLARION普拉瑞
- LUCEO魯機歐
- ThreeBond三鍵
-
HAMAMASTU濱松
-
TML東京測器
- SHINAGAWA SO...
- IMV愛睦威
- custom 東洋計量
- yuasa 尤阿薩
- HAYASHI林時計
- SIBATA柴田科學
- SEN日森特殊光源
-
HSK 平原精機
-
SOMA相馬光學
- iwata巖田
- MUSASHI武藏
- USHIO牛尾
- ACTUNI阿庫圖
- ORC歐阿希
- DRY-CABI德瑞卡比
- COSMO科斯莫
-
SHOWASOKKI昭和...
-
CHUBUSEKI中部精...
-
SAMCO薩姆肯
- navitar 納維塔
- ASKER 高分子計器
- KOSAKA Labor...
- EMIC愛美克
-
OPTEX奧泰斯
- NISSIN日進電子
- TANDD 蒂和日
- FUJI TERMINA...
- TAKASAGO高砂
- TAKIKAWA瀧川
- SUGAWARA菅原
- MACOME碼控美
-
FURUKAWA古河
-
TSUBOSAKA壺坂
- mitutoyo 三豐
- HAYASHI 林時計
- HOZAN 寶山
- FEI SEM電子顕微鏡
- YUASA尤阿薩
- SAKAGUCHI坂口電...
-
MDCOM 株式會社
-
inflidge 英富麗
- RKC 理化工業(yè)
- MORITEX茉麗特
- LIGHTING 光屋L...
- TEITSU帝通
- Excel聽音機
- SERIC索萊克
-
FUJI富士化學
-
TONCON拓豐
-
SHINKO新光電子
- Ono Sokki 小...
- 樂彩
- IIJIMA 飯島電子
- THOMAS托馬斯
- JIKCO吉高
- 分散材料研究所
-
NAVITAR納維塔
- Cho-Onpa 超音波...
- revox 萊寶克斯
- Toki Sangyo ...
- SUPERTOOL世霸
- EIWA榮和
- FUJITERMINAL...
- TOYOX東洋克斯
- AMAYA天谷制作所
-
TSUBAKI NAKA...
- TOPCON 拓普康
- NIKKATO日陶
- ITOH伊藤
- NEWKON新光
- SIBATA柴田
-
TAISEI
-
MITSUI三井電氣
-
加熱器
產品詳情
簡單介紹：
由于旋涂機應用機（MIKASA）的產品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發(fā)熱，在連續(xù)使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現性。
詳情介紹：
產品規(guī)格
| *大電路板尺寸 | φ4英寸晶圓或75×75mm基板 |
| 速度（轉/分） | 20~8，000 |
| 旋轉精度 | ±1轉/分（負載時） |
| 發(fā)動機 | 交流伺服電機 |
| 蓋 | 丙烯酸 |
| 旋轉室直徑 | φ220毫米 |
| 步進模式數 | 100 步× 10 種模式 |
| 時間設置 | 999.9秒 |
| **聯鎖 |
真空標準 蓋可選 |
| 滴水裝置 | 不可連接 |
| 使用的真空壓力 | -0.08~-0.1兆帕 |
| 權力 | 交流100~240V 5A |
| 外部尺寸（毫米） | 259W×246H×330D |
| 重量 | 10公斤 |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
支持的選項
| <定制類型> | <兼容型號> | |
|---|---|---|
| ?自動滴水裝置（氣動型） | 1 臂 | |
| 2 臂 | ||
| ?自動滴水裝置（支架式） | ||
| ?漱邊 | ||
| ?背部沖洗 | ||
| ?排氣管 | ○ | |
| ?廢液排放 | ○ | |
| ?鄰苯二甲酰亞胺開關 | ○ | |
| ?特氟龍涂層 | ○ | |
| ?增加電機余熱風扇 | ○ | |
| ?急停開關 | ○ | |
| ?大功率電機 | ||
薄膜厚度分布數據
| 使用的型號 | MS-B100 |
| 薄膜厚度測量裝置 | 菲爾計量 F50 |
| 抵抗 | OFPR-800LB （東京大鹿） |
| 電路板尺寸 | φ4英寸硅片 |
| 目標膜厚度 | 1微米 |
| 薄膜厚度分布 | ±0.8% |
蘇州代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100
南京代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100
常州代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100
上海代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B100
武漢、長沙、合肥、杭州、貴陽、蕪湖
產品留言
