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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:HAMAMASTU濱松VUV-LED 光源單元 L12542

    • 產(chǎn)品型號:
    • 產(chǎn)品廠商:HAMAMASTU濱松
    • 產(chǎn)品價格:0
    • 折扣價格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司銷售HAMAMASTU濱松VUV-LED 光源單元 L12542
    詳情介紹:

    特點和用途

    特點

    • 較大的輻照(中和)區(qū)域
    •  
    • 在真空中高效生成離子
    •  
    • 無需氣流
    •  
    • 無過沖(不產(chǎn)生相反極性的靜電荷)
    •  
    • 無粉塵和電磁噪聲排放
    •  
    • 使用壽命長

    用途

    • 卸除靜電卡盤
    •  
    • 半導(dǎo)體制造設(shè)備(真空工藝)
    •  
    • LCD 制造設(shè)備
    •  
    • 有機 EL 制造設(shè)備
    •  
    • 硬盤制造設(shè)備
    •  
    • 薄膜制造設(shè)備

    靜電電荷去除效果

    中和時間與距離

     

     

     

    中和時間與真空度

     

     

     

    詳細參數(shù)

    總評級

    參數(shù) 說明/值 單位
    光譜分布 115 至 400 nm
    窗材 MgF2
    冷卻方法 以風(fēng)扇強制風(fēng)冷
    工作溫度范圍 +10 至 +40
    儲存溫度范圍 0 至 +60
    工作濕度范圍 低于 80%(無冷凝)
    儲存濕度范圍 低于 85%(無冷凝)

    推薦的操作條件和特性(25°C 時)

    參數(shù) 說明/值 單位
    預(yù)熱時間 25±5 s
    光源保證使用壽命 2000 h
    輸入電壓(交流) 100 V 至 240 V(100 V/200 V 自動切換),單相 50 Hz/60 Hz
    功耗(*大值) 90 VA

    ①壽命終止是指 230 nm 處的光輸出下降至低于其初始值的 50% 的時間。請注意,光輸出衰減很大程度上取決于真空設(shè)備的環(huán)境。
    * 更換光源時,請注明型號 L12565。

    光譜分布

     

     

     

    指向性(光分布)

     

     

     

    外形尺寸圖(單位:mm)

    光源(重量:約 530 g)

    電源(重量:約 1.8 kg)

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