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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
高密度等離子蝕刻裝置，采用電感耦合等離子體（工業(yè)塑料廣場(chǎng)）作為放電形式。 該裝置是一種全 面生產(chǎn)設(shè)備，具有真空盒室，具有優(yōu)異的工藝可重復(fù)性和穩(wěn)定性。 它成為直徑為 ±4 英寸的晶圓專(zhuān)用設(shè)備，可以安裝在節(jié)省空間的地方。
詳情介紹：
概述
高密度等離子蝕刻裝置，采用電感耦合等離子體（工業(yè)塑料廣場(chǎng)）作為放電形式。 該裝置是一種全 面生產(chǎn)設(shè)備，具有真空盒室，具有優(yōu)異的工藝可重復(fù)性和穩(wěn)定性。 它成為直徑為 ±4 英寸的晶圓專(zhuān)用設(shè)備，可以安裝在節(jié)省空間的地方。
特點(diǎn)
新型ICP源「HSTC?： Hyper Symmetrical Tornado Coil」
高射頻功率（2 kW 或更高）可高效、穩(wěn)定地應(yīng)用，以實(shí)現(xiàn)良好的均勻性。
大流量排氣系統(tǒng)
通過(guò)采用與反應(yīng)室直接相連的排氣系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了從小流量、低壓區(qū)域到大流量、高壓范圍的各種工藝窗口。
支持端點(diǎn)監(jiān)視器
它支持干涉型和發(fā)光光譜端點(diǎn)監(jiān)視器，可在目標(biāo)薄膜厚度下進(jìn)行端點(diǎn)檢測(cè)。
易于維護(hù)的設(shè)計(jì)
TMP（渦輪分子泵）和高頻電源單元化，便于更換。
應(yīng)用示例
? 高精度加工化合物半導(dǎo)體，如 GaN、GaAs 和 InP
?高速加工SiC、SiO
? 蝕刻難蝕刻材料，如鐵電體（PZT、BST、SBT、BT）和電極材料（Pt、Au、Ru、Al）
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