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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
L-OFM10062MN L-OFM14073MN L-O***0083MN L-O***5089MN L-OFM30093MN
L-OVM20117MN L-OVM20118MN-BS L-OVM50167MN L-OVM50170MN-BS
使用具有大量像素的線傳感器攝像機(jī)進(jìn)行檢查
平板顯示基板的精細(xì)圖案檢查
印刷電路板等的精細(xì)圖案檢測(cè)
半導(dǎo)體晶圓等的精細(xì)圖案檢測(cè)
詳情介紹：
| 類型表達(dá)式 | L-OVM50167MN | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 使用放大倍率范圍 | -2x～-5x | |||||||
| 放大倍數(shù) | -2x | -2.5x | -3x | -3.5x | -4x | -4.5x | -5x |
（-5.2x） ※2 |
| 焦距 | 116mm | |||||||
| F 編號(hào)（∞） | F2.5 | |||||||
| NA | 0.133 | 0.143 | 0.15 | 0.156 | 0.16 | 0.164 | 0.167 | 0.168 |
| 參考波長(zhǎng) | 546.07nm（e-line） | |||||||
| 使用波長(zhǎng)范圍 | 400～700nm | |||||||
| 圖像圓 | Φ86.4mm | |||||||
| 對(duì)象大小 ※1 |
Φ43.2 mm |
Φ34.6 mm |
Φ28.8 mm |
Φ24.7 mm |
Φ21.6 mm |
Φ19.2 mm |
Φ17.3 mm |
（Φ16.6 mm） |
| 畸變畸變 ※1 | +0.1% | +0.0% | -0.0% | -0.0% | -0.0% | -0.0% | 0.0% | （-0.0%） |
| 周邊照度比 ※1 | 90.5% | 95.4% | 98.1% | 99.2% | 99.5% | 99.6% | 99.7% | （99.7%） |
| 光圈刻度 | 2.5 2.8 4 5.6 8 11 | |||||||
| 物體圖像間距離 |
503.6 mm |
550.4 mm |
601.0 mm |
653.8 mm |
707.9 mm |
763.0 mm |
818.7 mm |
（841.1 mm） |
| 工作距離 |
114.7 mm |
102.8 mm |
94.9 mm |
89.2 mm |
84.9 mm |
81.6 mm |
78.9 mm |
（78.0 mm） |
| 安裝 | M67（P=0.75） | |||||||
| 法蘭背 |
248.8 mm |
307.5 mm |
366.1 mm |
424.6 mm |
483.0 mm |
541.4 mm |
599.8 mm |
（623.1 mm） |
| 過濾器尺寸 | M58（P=0.75） | |||||||
| 外形尺寸 ※3 | Φ84mm x 140mm | |||||||
| 質(zhì)量 | 約1350克 | |||||||
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