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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000
詳情介紹：
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000
Kosaka小板研究所微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000
微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)
ET4000系列
· 高精度．安定性．機(jī)能性**適合于FPD基板·晶圓硬盤(pán)等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型。
· 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
· ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量。
· ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。
· ET4300一適合12"樣品測(cè)量。
| *大試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
|---|---|
| 重現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以?xún)?nèi) |
| 測(cè)定范圍 | Z:100μm X:100～305mm (Y移動(dòng)量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1μm |
| 測(cè)定力 |
0.5μN(yùn)~500μN(yùn) (0.05mg-50mg) |
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