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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:SAMCO液體源CVD設(shè)備 PD-200STL

    • 產(chǎn)品型號(hào):
    • 產(chǎn)品廠商:SAMCO薩姆肯
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡(jiǎn)單介紹:
    PD-200STL 是一種高速等離子CVD設(shè)備,用于通過(guò)液體源形成氧化硅 (SiO2) 膜和氮化硅 (SiN) 膜。
    詳情介紹:

    概述

    PD-200STL 是一種高速等離子CVD設(shè)備,用于通過(guò)液體源形成氧化硅 (SiO2) 膜和氮化硅 (SiN) 膜。 陰極側(cè)護(hù)套電場(chǎng)產(chǎn)生的離子能量允許在低溫下形成低應(yīng)力厚膜。 該裝置具有負(fù)載鎖室,可實(shí)現(xiàn)出色的可重復(fù)性沉積。

    特點(diǎn)

    • 良好的薄膜厚度均勻性和穩(wěn)定性
    • 高速沉積和應(yīng)力控制
    • 低溫沉積(80°C~)
    • 階梯覆蓋性優(yōu)異的成膜
    • 控制折射率(使用 Ge、P 和 B)

    應(yīng)用示例

    • SAW 器件的溫度補(bǔ)償膜、鈍化膜
    • MEMS掩膜和氧化膜犧牲層
    • 三維封裝中TSV(Si貫通通孔)側(cè)壁的絕緣膜

    • 光波導(dǎo)芯層、包層形成

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